真空等離子產(chǎn)生原理：

通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì)，從而優(yōu)化材料表面性能，實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。

真空等離子清洗機(jī)的用途：

①汽車行業(yè)：汽車內(nèi)外飾、汽車電子，去除表面有機(jī)污染物，提高表面親水性，提升粘貼質(zhì)量；

②半導(dǎo)體行業(yè)：金屬鍵合前處理、塑封前處理、底部填充前處理以及光刻膠去除等；

③3c行業(yè)：PCB板孔底及孔壁表面處理，F(xiàn)PC表面清洗；

④攝像頭模組：DB前處理、WB前處理、封裝前處理，增強(qiáng)封裝的貼合度。

真空等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢：

1、超低處理溫度：真空腔體經(jīng)由真空度檢漏測試，處理溫度低于45℃，可滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響；

2、多路氣體控制：高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)，針對不同的產(chǎn)品，通入不同反應(yīng)氣體，雙路或多路工藝氣體全方位均勻清洗；

3、高效率處理：單次可處理多片/批次材料；

4、使用成本低：可定制流水線，全自動工作，減少人力成本，低氣體用，穩(wěn)定性強(qiáng)，降低使用成本；

5、可以處理復(fù)雜的產(chǎn)品，可進(jìn)行360°全方位的處理。